檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Shien-Kuei Liaw".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="干涉式生醫感測"
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絕緣層上製作矽波導具有較低成本、可用於通訊傳輸波段與互補式金屬氧化物半導體標準製程相容的廣大優點。同時波導中的矽與埋藏氧化層之間有高折射率差,可使元件線寬能縮至次微米等級。一般在生物感測應用方面,光…